當(dāng)前位置:英國普拉勒科技有限公司-普拉勒(南京)儀器科技有限公司>>氫氣發(fā)生器>>氣相色譜/半導(dǎo)體/CVD,,MOCVD專用氫氣發(fā)生器>> 進(jìn)口金剛石MPCVD氫氣發(fā)生器
氫氣發(fā)生器型號(hào):Hydrogen-500(S)
Hydrogen-500(S)金剛石MPCVD氫氣發(fā)生器是一種能夠連續(xù)可靠地產(chǎn)生高純度氫氣的設(shè)備,,其純度可達(dá)到99.9999%以上,。相比昂貴且危險(xiǎn)的高壓氫氣鋼瓶,除此之外,,該發(fā)生器還具有很大的優(yōu)勢,,它只需要去離子水和供電即可產(chǎn)生氫氣,,一次加水可持續(xù)工作長達(dá)15天,,成本低廉。同時(shí),,其安全性和簡便性能使其成為替代高壓氫氣鋼瓶的理想選擇,。
通過適時(shí)適量地產(chǎn)生氫氣,金剛石MPCVD氫氣發(fā)生器能夠保持氫氣儲(chǔ)存體積和安全性,。這種設(shè)備可以根據(jù)實(shí)際需求來調(diào)節(jié)氫氣的產(chǎn)生量,,避免過量儲(chǔ)存氫氣所帶來的安全隱患。因此,,氫氣發(fā)生器不僅能夠滿足實(shí)驗(yàn)室對高純度氫氣的需求,,還能夠保證操作人員的安全。
Hydrogen-500(S)金剛石MPCVD氫氣發(fā)生器采用SPE固態(tài)電解質(zhì)技術(shù),,無需使用堿,,直接電解純水。這種設(shè)計(jì)有效地保護(hù)了色譜柱,。在結(jié)構(gòu)上,,該設(shè)備配備了分子篩耐用干燥劑,以產(chǎn)生純度為99.9999%的氫氣,,確保結(jié)果的重現(xiàn)性,。此外,內(nèi)部采用了英國Peculiar硅橡膠圈(含硫量低),,有效提高了氣體質(zhì)量,,保證了GC基線的平穩(wěn)。
在功能方面,,氫氣發(fā)生器集成了一體化微電腦控制的壓力和流量調(diào)節(jié)系統(tǒng),。它還具備自動(dòng)水位控制功能,當(dāng)缺水狀態(tài)時(shí)會(huì)自動(dòng)停機(jī),,并具有自動(dòng)補(bǔ)水功能,。當(dāng)Hydrogen-500(S)金剛石MPCVD氫氣發(fā)生器水量低于15%時(shí),外置水箱會(huì)自動(dòng)進(jìn)行補(bǔ)水,,無需停機(jī)加水,。這種設(shè)計(jì)有效地保護(hù)了電解池,延長了使用壽命,。
金剛石MPCVD氫氣發(fā)生器技術(shù)參數(shù):
Hydrogen-500(S)金剛石MPCVD氫氣發(fā)生器在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域扮演著至關(guān)重要的角色,,其廣泛應(yīng)用主要體現(xiàn)在以下幾個(gè)方面:
1.清洗與退火:氫氣作為清洗氣體,能夠有效去除半導(dǎo)體材料表面的污染物和氧化物,,提供清潔的表面環(huán)境,。同時(shí),在退火過程中,,氫氣有助于晶體的再結(jié)晶,提升材料的質(zhì)量和性能,。
2.賦活處理:通過將水合氧化物轉(zhuǎn)化為電氧化物,提高雜質(zhì)離子濃度,,從而改善半導(dǎo)體器件的性能和穩(wěn)定性。
3.硅取向和外延生長調(diào)控:精確控制氫氣的流量和溫度,,可以實(shí)現(xiàn)硅晶片特定方向的優(yōu)先生長,,獲得所需的硅材料取向,這對于半導(dǎo)體器件的制造至關(guān)重要,。
4.清除氧污染:在特殊工藝中,,利用氫氣清除氧氣污染,避免生成影響器件性能的氧化物,,確保半導(dǎo)體產(chǎn)品的高質(zhì)量,。
5.CVD和MOCVD工藝:作為CVD(化學(xué)氣相沉積)和MOCVD(金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積)技術(shù)中的專用設(shè)備,金剛石
MPCVD氫氣發(fā)生器能夠提供高純度,、穩(wěn)定壓力的氫氣,,滿足這些先進(jìn)制造工藝對氣體質(zhì)量的嚴(yán)格要求,。
6.其他領(lǐng)域應(yīng)用:除了半導(dǎo)體制造,金剛石MPCVD氫氣發(fā)生器還廣泛應(yīng)用于太陽能電池,、化學(xué)反應(yīng),、燃料電池等多個(gè)領(lǐng)域,為這些領(lǐng)域提供穩(wěn)定可靠的氫氣供應(yīng),。